概要

Cu-Cu(カッパーカッパー)接続とは、積層型CMOSイメージセンサーの画素チップと論理回路チップをそれぞれの積層面に形成したCu(銅)端子で直接接続する技術のこと。これにより画素チップを貫通する接続部を設ける必要がなくなり、接続の専用領域が不要となるため、イメージセンサーのさらなる小型化と生産性向上が可能となります。

従来のTSV接続とCu-Cu接続の比較図

技術解説

端子配列の自由度向上と高密度化を実現

Cu-Cu接続では、従来のTSV(through-silicon via:Si貫通電極)接続のような、画素チップと論理回路チップを接続するための専用領域が不要になるため、端子配置の自由度向上と高密度化を可能にします。今後の積層型CMOSイメージセンサーの高機能化に貢献します。

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