FPD製造

FPDの製造現場において、パネル表面の微細な欠陥や、アレイ工程における配線パターンの異常、セル表面の異物を検出する工程でイメージセンサーが使われています。高画質・高解像度・高速のグローバルシャッター方式イメージセンサーは、この用途に適しています。また、偏光イメージセンサーは、表面状態の差による偏光度の差をとらえることができるので、凹凸がランダムな汚れと区別して傷を検知します。

大型FPDの欠陥検査に大型イメージセンサーを活用する場合、検査画面の各画素の輝度を正確に測定し、画素欠陥やムラの有無を検知する必要があります。

その精度を上げるためには、イメージセンサー側の画素の均一な性能が求められます。ソニーの大型のローリングシャッター方式イメージセンサーは、高感度であるだけでなく、画素数が1億画素を超えるにもかかわらず暗時ノイズやシェーディングが低く、画素欠陥も少ないため、こうした欠陥検査の精度向上に好適です。